穩(wěn)定、高效的AMHS將成為半導(dǎo)體工廠的“必選項”

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)線生產(chǎn)工藝流程越來越復(fù)雜，產(chǎn)線設(shè)備間的傳統(tǒng)物料搬運方式，已經(jīng)成為制約生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量的瓶頸。為此，AMHS自動物料搬運系統(tǒng)應(yīng)運而生，在半導(dǎo)體晶圓制造環(huán)節(jié)的應(yīng)用開始逐漸普及。

AMHS系統(tǒng)的特點與應(yīng)用價值主要體現(xiàn)在：高可靠性、高自動化與信息化、高效率、高度靈活性與可擴(kuò)展性。格創(chuàng)東智認(rèn)為，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的持續(xù)演進(jìn)，晶圓的尺寸不斷增大，使得半導(dǎo)體工廠對于自動化和信息化技術(shù)要求越來越高。因此從中長期來看，新建的半導(dǎo)體工廠會將AMHS作為“必選項”，對AMHS的需求主要體現(xiàn)在高度自動化、智能化、信息化，具備高可靠性和高安全性，同時具備一定的靈活性和可擴(kuò)展性，以減少對人的依賴，提高整個生產(chǎn)機(jī)臺的使用率和庫存周轉(zhuǎn)率。

以O(shè)HT系統(tǒng)為核心的潔凈室AMHS整體解決方案，其最大優(yōu)勢在于效率非常高，并且主要布局都在空中，不會占用地面。因為無塵車間可謂“寸土寸金”，OHT系統(tǒng)的應(yīng)用可以釋放更多的空間布局，用于增加機(jī)臺設(shè)備擴(kuò)充產(chǎn)能。但在某些工藝段，比如需要干濕工藝，或者兼具高柔性、高精度的場景應(yīng)用需求等，未必適合使用天車，需要考慮AGV等設(shè)備的組合應(yīng)用。

同時，值得關(guān)注的還有智能調(diào)度系統(tǒng)，這也是目前國內(nèi)AMHS廠商著力開拓的領(lǐng)域。對于AMHS而言，如何實現(xiàn)調(diào)度系統(tǒng)和MCS（物料控制系統(tǒng)）快速響應(yīng)生產(chǎn)的波峰和波谷，契合生產(chǎn)工藝的調(diào)整，是AMHS廠商未來需要著力突破的重點。

另外，還可以結(jié)合數(shù)據(jù)化和信息化做進(jìn)一步蔓延。目前越來越多的業(yè)主方十分重視對生產(chǎn)數(shù)據(jù)的挖掘和分析，目的是了解生產(chǎn)過程的每一個環(huán)節(jié)，發(fā)現(xiàn)潛在問題并提出改進(jìn)措施。這項工作對于AMHS而言同樣會帶來很大價值。比如，可以通過分析物料搬運的節(jié)拍、周轉(zhuǎn)情況和機(jī)臺使用率等，優(yōu)化工藝布局、設(shè)備配置及調(diào)度策略。

格創(chuàng)東智AMHS應(yīng)用創(chuàng)新

穩(wěn)定性和高效性是AMHS系統(tǒng)性能的重要指標(biāo)。針對這兩項指標(biāo)，格創(chuàng)東智將自身在預(yù)防性維護(hù)和能源消耗管理方面的既有優(yōu)勢引入AMHS解決方案中。

1、設(shè)備故障偵測與分類系統(tǒng)（FDC）

實時收集設(shè)備生產(chǎn)過程中的狀態(tài)數(shù)據(jù)以及工藝參數(shù)，通過監(jiān)控模型實現(xiàn)對生產(chǎn)過程的失效模式的偵測和智能分析。該應(yīng)用可以對AMHS進(jìn)行預(yù)防和預(yù)測性維護(hù)，利用物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)和AMHS收集物料轉(zhuǎn)移信息做出判定。通過AI建設(shè)模型，幫助使用方運維團(tuán)隊減少停線，增強(qiáng)物流線體和自動化產(chǎn)線的魯棒性，幫助半導(dǎo)體工廠提高生產(chǎn)設(shè)備的效率和可靠性，實現(xiàn)極致良率、極致效率、極致成本的發(fā)展目標(biāo)。

2、智慧能源管理系統(tǒng)（EMS）

半導(dǎo)體工廠是高能耗行業(yè)之一，能耗主要來自制造設(shè)備和通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)。我們基于對歷史數(shù)據(jù)的分析，發(fā)現(xiàn)其中存在一定的冗余空間。比如半導(dǎo)體工廠的潔凈車間需要保持一定濕度和溫度，但通風(fēng)空調(diào)設(shè)備的開啟和停止控制其實有很大的空間值得挖掘。AMHS中的設(shè)備應(yīng)用也是如此，我們可以將整個物料信息化和所有機(jī)臺設(shè)備信息化系統(tǒng)打通，結(jié)合AI算法為客戶提供何時開/關(guān)的最優(yōu)能源管理，幫助其減少能源消耗和碳排放，進(jìn)而實現(xiàn)節(jié)能減排降耗增效的生產(chǎn)發(fā)展效果。