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產(chǎn)品介紹篇:非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀系統(tǒng)

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來自Novacam的光學(xué) 3D 輪廓儀TM系統(tǒng)可用于非接觸式3D表面和厚度測量,即使在難以觸及的空間如鉆孔、管道等,也可進(jìn)行非接觸式微米級精度3D測量,獲取尺寸、粗糙度、缺陷、振動(dòng)或厚度數(shù)據(jù)。


光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

系統(tǒng)組件


NOVACAMTM光學(xué)3D輪廓儀TM是一個(gè)模塊化系統(tǒng),它的檢測能力由其組件共同決定。


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主要包括以下組件:


1光學(xué)側(cè)視或前視探頭:有幾種標(biāo)準(zhǔn)尺寸和長度可選,也可以定制


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2MICROCAM干涉儀:為光學(xué)探頭提供光源,并處理從探頭接收到的光信號


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3運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)

4PC、顯示器和操縱桿


光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

特點(diǎn)和優(yōu)勢


NOVACAMTM光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)擁有基于光纖的探頭,易于與精密載物臺、第三方坐標(biāo)測量機(jī)、數(shù)控機(jī)床或機(jī)器人集成,以支持大量的流水線工作。


系統(tǒng)優(yōu)勢:


可用于測量狹窄空間內(nèi)部、特殊形狀物體外形、平面光滑度以及邊緣線性度

對被測物體的表面反射度沒有要求(從鏡面到全黑都可測量)

高速測量,每秒高達(dá)100,000個(gè)3D點(diǎn)

能夠測量靜止及運(yùn)動(dòng)的物體,包括固體或液體、孔和管的內(nèi)部、圓柱體的外部等

光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)


應(yīng)用場景


Novacam光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)的探測器探頭基于光纖的特性,在光學(xué)計(jì)量行業(yè)中具有獨(dú)特優(yōu)勢,在航空航天、汽車、電力、國防、醫(yī)療儀器、電子等多個(gè)領(lǐng)域都有應(yīng)用。應(yīng)用場景包括尺寸測量、粗糙度測量、缺陷檢測(如裂紋、劃痕)、半透明材料的厚度測量等。


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1尺寸測量


在XY載物臺上使用光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)采集的硅晶圓表面


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2粗糙度


線性粗糙度參數(shù),粗糙度顯示為高度和強(qiáng)度圖像


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3厚度測量


可用于測量單層或多層、透明或半透明材料。圖為人工晶狀體的2D橫截面


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4缺陷測量


噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪盤上樅樹型插槽的3D幾何形狀和缺陷

*以上產(chǎn)品及應(yīng)用圖片均來自Novacam


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